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產(chǎn)品型號(hào)：ES4A廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商更新時(shí)間：2025-11-16訪 問(wèn) 量：451新款ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵節(jié)電配件
新款ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵節(jié)電配件
特點(diǎn)
通過(guò)對(duì)轉(zhuǎn)子軸和鋁合金等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理，進(jìn)行腐蝕。
采用ULVAC 設(shè)計(jì)的底座軸，實(shí)現(xiàn)高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行。
目的
半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、離子清洗設(shè)備等。
真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。
醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。
螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專(zhuān)為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)
當(dāng)使用干泵時(shí)可選配，用于降低排氣噪音。
特點(diǎn)
大氣壓附近的排氣速度高，可以縮短排氣時(shí)間。
ECO-SHOCK技術(shù)實(shí)現(xiàn)低功耗（C型號(hào)）
極限壓力下的功耗為0.6 kW或更低（LS120A-C）
配有專(zhuān)用的消音器
極限壓力下的噪音水平為61 dB（A）或更低
無(wú)需先前所需要的軸封氣體
※L型可以使用稀釋氣體。
排氣速度120-1200 m3 / h級(jí) ※可與機(jī)械增壓泵結(jié)合使用
可以根據(jù)應(yīng)用選擇最佳排氣能力的型號(hào)
得點(diǎn)
出色的消音效果
可以通過(guò)卡箍連接到泵的排氣口
| 型式 | ES10 | ES4A | |||
| 電源 | 規(guī)格 | 單相 AC100～220V 50/60Hz | 單相 AC200～220V±5% 50/60Hz | ||
| 最大功耗 | 65W *1 | 400W | |||
| 控制 | 輸入 | 遠(yuǎn)程啟動(dòng)/停止（接點(diǎn) DC24V有電圧） 接點(diǎn)容量2.0A以上請(qǐng)準(zhǔn)備無(wú)電源接點(diǎn) *2 | |||
| 輸出 | 過(guò)電流報(bào)警輸出(接點(diǎn) 無(wú)電圧) 接點(diǎn)容量：DC24V 1.0A | 啟動(dòng)確認(rèn)、省電確認(rèn)、本體警報(bào)、過(guò)電流警報(bào) | |||
| 顯示 | 運(yùn)作時(shí)間顯示 | 運(yùn)作時(shí)間、啟動(dòng)確認(rèn)、省電確認(rèn)、本體警報(bào)、過(guò)電流警報(bào) | |||
| 外觀尺寸 | 本體單元 | 175mm×310mm×240mm | 250mmx475mmx373mm | ||
| 閥單元 | Φ66mm×110mm(NW40) *3 | 選項(xiàng) | |||
| 質(zhì)量 | 本體單元：8.3kg 閥單元：800g | 32kg | |||
| 質(zhì)量 | G1/4" (INLET、OUTLET) 已安裝連接器 | Φ16mm管接頭( 推薦管的長(zhǎng)度為1.5m以內(nèi)) | |||
*1 干泵的使用工藝氣體、吹掃氣體 0Pam3/s*2 手動(dòng)啟動(dòng)/停止時(shí)可以通過(guò)跳轉(zhuǎn)控制連接器的PIN，來(lái)ON/OFF電路保護(hù)器。*3 ES10標(biāo)配一個(gè)閥單元
| 弊社泵型號(hào) | LR1800 | LR3601-R | ||
| 排氣速度*1 | 羅茨泵 | 1784m3/hr（29700L/min） | 3200m3/hr(53333L/min） | |
| 干泵 | 237m3/hr（3950L/min） | 440m3/hr(7333L/min） | ||
| 平均功耗*2,3 | 極限壓力運(yùn)作時(shí) | 沒(méi)有 | 6.0kW | 7.8kW |
| ES4A安裝時(shí) | 2.7kW | 3.2kW | ||
| 消減率 | 55% | 59% | ||
| 反復(fù)排氣時(shí) *4 | 沒(méi)有 | 7.2kW | 9.6kW | |
| ES4A安裝時(shí) | 5.7kW | 6.3kW | ||
| 消減率 | 21% | 34% | ||
*1 電源頻率60Hz
*2 密封氣體5SLM
*3 包含ECO-SHOCK ES4A功耗
*4 300L腔室反復(fù)排氣60秒節(jié)拍的測(cè)量示例。
| 型號(hào)名稱(chēng) | LR60 | LR90 | LR180 |
| 排氣速度*1 | 1300L/min | 2100L/min | 3980L/min |
| 實(shí)測(cè)功耗*2 | 2.1kW | 3.6kW | 6.6kW |
| ECO-SHOCK安裝后的實(shí)測(cè)功耗*2 *3 *4 | 0.7kW | 1.0kW | 1.6kW |
| 電力消減率 | 67% | 72% | 76% |
*1 電源頻率60Hz
*2 功耗為極限壓力時(shí)的代表值
*3 包括ECO-SHOCK的功耗
*4 密封氣體、吹掃氣體流量0Pa?m3/s時(shí)。取決于密封氣體、吹掃氣體流量
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