池田屋原裝愛發科 真空泵  CR300B產品介紹技術參

愛發科CR300B是一款多級羅茨型干式真空泵，屬于CR系列Ver.B中的大抽速型號，憑借無油潔凈的運行特性、高效的抽氣能力和廣泛的適配性，成為工業與科研領域真空解決方案的優選設備。該泵通過了CE、cTUVus國際安全合規認證，可在全球范圍內的半導體制造、真空鍍膜、分析儀器等場景穩定運行，尤其適配對真空潔凈度和抽氣效率要求嚴苛的中高真空需求場景。

二、核心工作原理

CR300B采用多級羅茨壓縮結構，泵殼內配置兩支三葉截面轉子，通過齒輪驅動實現反向同步旋轉，轉子與殼體、轉子之間保持微米級間隙，全程無接觸運行。氣體從進氣口進入第一級轉子腔室后，隨轉子旋轉完成吸入、輸送與初步壓縮，再通過級間流道進入后續壓縮級，逐級提升壓力后從排氣口排出。這種多級壓縮設計讓泵可直接從大氣壓力啟動，無需前級泵輔助，且通過精密密封件隔離軸承與齒輪的潤滑油，從根源杜絕油霧返流，確保真空環境清潔無油。

三、關鍵技術參數

CR300B在CR系列中主打大抽速性能，抽速可達300m3/h，覆蓋了CR16B（16m3/h）至CR60B（55m3/h）無法滿足的中高吞吐率場景。其極限真空性能優異，搭配氣鎮機構時，最大水蒸氣處理量可達500g/h，能高效應對含濕氣體環境。泵體采用空冷散熱設計，無需冷卻水與氮氣輔助，搭載的DC密封電機兼具低功耗、高氣密性與輕量化特點，整機重量控制合理，適配緊湊空間集成需求。

四、核心技術優勢

1. 無油潔凈運行

泵腔內部無真空油參與，轉子非接觸式設計消除了機械磨損，既延長了設備使用壽命，又避免了油霧污染，適配半導體芯片制造、精密光學鍍膜等對雜質敏感的工藝。

2. 低成本運維

空冷設計省去了冷卻水循環系統的安裝與維護成本，無需軸封氮氣等輔助氣體，日常運維僅需常規檢查，相比傳統油泵大幅降低了長期運營支出。

3. 高效節能可選

可選配ECO-SHOCK節能裝置，安裝于排氣線路后，可在不影響抽氣性能的前提下降低最高80%的功耗，同時抑制泵體發熱量，間接減少車間空調能耗，適合連續運行的工業場景。

4. 環境適應性強

氣鎮機構可防止水蒸氣在泵腔凝結，提升對真空干燥、食品凍干等含濕工藝的適配能力；寬溫域運行設計與良好的粉塵耐受度，讓設備可在復雜工業環境中穩定工作。

五、典型應用場景

在半導體制造領域，CR300B可用于光刻、蝕刻、薄膜沉積等工藝的真空排氣，抽取空氣、惰性氣體等潔凈介質；在真空鍍膜行業，為濺射、蒸鍍設備提供快速抽氣與高潔凈真空環境，保障鍍膜均勻性；在科研與分析儀器領域，適配質譜儀、電子顯微鏡等設備的真空系統需求；此外，還可應用于食品真空包裝、醫藥凍干等場景，滿足不同行業對真空環境的多樣化需求