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新品ULVAC愛發科 多級羅茨型干泵消音器RS系列
特點
通過對轉子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理，進行腐蝕。
采用ULVAC 設計的底座軸，實現高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區域連續運行。
目的
半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統，如刻蝕設備、去膠設備、離子清洗設備等。
真空熱處理爐真空排氣系統，如燒結爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設備真空排氣系統，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。
醫療食品設備相關的真空排氣系統，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。
螺桿型干式真空泵。在傳統LS系列的基礎上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計
當使用干泵時可選配，用于降低排氣噪音。
特點
■大氣壓附近的排氣速度高，可以縮短排氣時間。
■ECO-SHOCK技術實現低功耗（C型號）
極限壓力下的功耗為0.6 kW或更低（LS120A-C）
■配有專用的消音器
極限壓力下的噪音水平為61 dB（A）或更低
■無需先前所需要的軸封氣體
※L型可以使用稀釋氣體。
■排氣速度120-1200 m3 / h級 ※可與機械增壓泵結合使用
可以根據應用選擇最佳排氣能力的型號
得點
出色的消音效果
可以通過卡箍連接到泵的排氣口
| 消音器 套件名稱 | 適用泵 | 附屬品 | |||
| 卡箍 | O型座 | 連接配管 | 支架 | ||
| RS-01 套件A | CR60B,LR60,90,300,GR60A,90A | 1 | 1 | ー | ー |
| RS-01 套件B | LR600,1200 | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-01 套件C | CR300B,GR180A | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-01 套件D | CR16B,30B | 1 | 1 | 1 | ー |
| RS-02 套件A | LR180(LR60,90,300) | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-02 套件B | LR1800(LR600,1200) | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-03 套件A | LR421(-T) | 1 | 1 | 1 | 1 |
| RS-03 套件B | LR3601(-T/TT/R/TR/TTR) | 3 | 3 | 1 | 1 |
| EFS-11-NW25/2/2516(*1) | CR16B,30B | 1 | 1 | ー | ー |
| EFS-19-NW40/1(*1)(*2) | CR60B,300B | 1 | 1 | ー | ー |
*1 有害氣體的情況下不能使用。
*2 不能連接后方配管的開放型。
Unit: dB(A)
| 型號 | 電源頻率 | 消音器 | 消音效果 | |
| 無 | 有 | |||
| RS-01 | 50Hz | 81 | 70 | 11 |
| 60Hz | 88 | 69 | 19 | |
| RS-02 | 50Hz | 84 | 72 | 12 |
| 60Hz | 93 | 73 | 20 | |
| RS-03 | 50/60Hz | 71 | 67 | 4 |
*1 運轉條件是在極限壓力狀態下導入稀釋氣體5SLM。
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