池田屋新品推出KASHIYAMA  干泵 SDL30K-JM028-A

近期我司新品發布KASHIYAMA  干泵 SDL30K-JM028-A

近期我司新品發布KASHIYAMA  干泵 SDL30K-JM028-A

發布日期

2026年5月26日

KASHIYAMA  干泵 SDL30K-JM028-A產品介紹

在半導體、平板顯示、光伏以及化學工業領域，獲得清潔、穩定、無油污染的真空環境是諸多核心工藝的前提條件。KASHIYAMA（樫山工業）作為日本真空技術品牌，憑借數十年在干式真空泵領域的深耕，已經成為全球制造業中備受信賴的供應商之一。其推出的SDL系列干式真空泵，專為嚴苛的工業環境設計，而型號 SDL30K-JM028-A 則是該系列中一款兼顧抽速、節能與耐腐蝕性的代表產品。

“干式真空泵"的核心價值在于：泵體的工作腔內不使用油類介質進行密封或潤滑，從而避免了油氣返流對工藝腔室的污染，也無需定期更換大量的真空泵油。SDL30K-JM028-A 正是基于這一理念，采用先進的螺旋爪式（或羅茨+爪式復合）轉子結構，實現了清潔排氣、低運行成本和長期穩定性的統一。

二、產品核心特性（非技術參數視角）

從實際應用特性來看，SDL30K-JM028-A 具有以下幾項突出優勢：

1. 無油潔凈排氣

該泵的轉子與腔體之間采用精密的微米級間隙設計，無需任何潤滑油或密封液就能實現高氣密性。這意味著被抽氣體不會接觸到油類物質，特別適合對碳氫化合物污染極其敏感的工藝，例如真空鍍膜、晶圓加工或鋰電池注液前的除氣步驟。同時，排氣側也不會因油霧而產生白煙或污染物殘留，有利于環保排放。

2. 優異的耐粉塵與耐腐蝕能力

SDL30K-JM028-A 在材質與結構上針對惡劣工藝條件進行了強化。其內部流道經過優化設計，減少了粉塵堆積的死角；轉子表面及泵腔內壁可選用特殊涂層（如鎳磷涂層或氟樹脂涂層），能夠耐受氟系、氯系等腐蝕性氣體的侵蝕。這使得它可以直接用于刻蝕、CVD（化學氣相沉積）等會產生副產物粉塵和活性氣體的半導體工序，而不需要頻繁拆洗。

3. 穩定的抽速與低壓力運行

該泵在全壓力范圍內（從大氣壓到高真空）都能保持較高的抽氣效率，尤其在1 Torr 至大氣壓這一中低真空區域表現突出。它既可以作為獨立的主泵使用，用于真空干燥、真空包裝或真空吸附等場景；也可以作為前級泵，配合渦輪分子泵或冷凝泵組成多級抽氣系統，幫助后者快速跨過分子流過渡區，提高整體系統的抽氣效率。

4. 智能溫控與節能運行

干式泵在工作時轉子高速旋轉會產生熱量，SDL30K-JM028-A 配備了內部冷卻回路和智能溫控系統。在啟動階段，泵體會較快升溫至最佳工作溫度，避免工藝氣體在內部冷凝形成液體殘留；在待機或輕載時，系統可自動降低轉速或進入節能模式，顯著降低電力消耗和冷卻水用量。這對于需要24小時連續運轉的工廠而言，每年可節省可觀的能耗成本。

5. 低噪音與緊湊布局

相比同等抽速的油封式機械泵，SDL30K-JM028-A 采用先進的消音技術和動平衡轉子，運行時振動小、噪音低，無需建設單獨隔音泵房即可布置在潔凈車間或實驗室內。其緊湊的落地式或模塊化設計，使得設備維護和管線連接更加靈活，尤其適合空間有限的設備改造項目。

三、主要用途詳解

SDL30K-JM028-A 干式真空泵并非通用泵，而是針對中高要求的工業真空應用設計。其主要應用場景包括：

1. 半導體制造前道工序

在等離子體刻蝕、CVD薄膜沉積、離子注入等工藝中，腔室內部會生成大量反應副產物（如硅氧化物、聚合物殘渣）以及腐蝕性氣體（如CF?、Cl?、BCl?）。SDL30K-JM028-A 憑借其耐腐蝕涂層和高溫運行設計，能夠持續將這些有害氣體排出，同時防止粉塵在泵內積聚導致轉子卡死。它是許多8英寸、12英寸晶圓生產線中的真空基礎設備。

2. 平板顯示器與太陽能電池生產

在FPD（液晶/OLED面板）和光伏太陽能電池的制造過程中，同樣大量使用PECVD、濺射和刻蝕設備。這些設備的工藝腔室尺寸大、氣體流量高，需要抽速大且能夠耐受非晶硅粉塵的干式泵。SDL30K-JM028-A 通常以多泵并聯或一拖二的形式工作，確保整個生產線的真空度一致性，避免因某臺泵故障導致整條鍍膜線停機。

3. 真空鍍膜與表面處理

對于工具涂層（如TiN、CrN）、裝飾鍍膜（如衛浴五金、鐘表殼）以及光學鍍膜（如AR減反射膜），真空系統需要從大氣壓快速抽至10?3 Pa以下，并在工藝過程中持續排出水汽和未反應的氣體分子。SDL30K-JM028-A 可作為主泵或粗抽泵，幫助鍍膜機縮短循環時間、提高鍍膜附著力。其無油特性也避免了油分子污染光學薄膜，造成透過率下降或針孔缺陷。

4. 鋰電池與電容器干燥工藝

鋰電池電極片、隔膜以及電解液注液前的烘烤除水工序，需要在真空環境下加熱以加速水汽蒸發。如果使用油封泵，水汽與油混合后容易乳化變質，且油蒸汽可能回流到烘箱內污染極片。SDL30K-JM028-A 的干式設計使其能夠耐受水蒸氣和少量有機溶劑蒸氣，長期穩定運行而無需頻繁換油，大大降低了超級電容器、動力電池生產線的維護工作量。

5. 化學實驗室與中試裝置

在高校、研究所或醫藥化工企業的合成實驗室中，需要無水無氧環境下的反應操作（如Schlenk技術、手套箱連接）。SDL30K-JM028-A 因體積適中、只需單相電源即可驅動（視具體電機配置），可作為高等級實驗臺的集中真空源。同時，它不會像油泵那樣在使用中持續排出油霧污染環境，更適合安裝在開放式實驗區域。

6. 真空干燥與食品/藥品包裝

對于需要快速移除水分的物料（如熱敏性原料藥、生物制品凍干），以及要求無油污染的真空包裝（如電子元器件防潮包裝、高檔茶葉），SDL30K-JM028-A 可以提供干凈、穩定的負壓環境。其長期連續運轉能力（無需像油泵那樣每班檢查油位）有助于提高包裝線的自動化程度。

四、適用設備與環境

SDL30K-JM028-A 通常作為以下設備的內置或配套真空源：

• 半導體刻蝕機、PECVD/CVD設備

• 真空鍍膜機（蒸發鍍、濺射鍍）

• 真空干燥箱、真空烘箱

• 鋰電池注液機、真空除氣室

• 手套箱過渡艙抽空系統

• 中央真空系統（多泵并聯）

使用環境方面，應安裝在通風良好、環境溫度適宜（一般5-40℃）、無嚴重振動的場所。建議定期檢查排氣口是否有異物堵塞，并根據工藝氣體種類決定清洗內部腔體的周期。若抽除含可凝性蒸氣（如大量水汽、溶劑）的氣體，建議啟動前開啟泵的預熱功能或配置進氣口吹掃裝置，以防止蒸氣在泵內冷凝。

五、總結

KASHIYAMA SDL30K-JM028-A 干式真空泵是一款面向現代精密制造業的潔凈真空動力核心。它通過無油轉子設計、耐腐蝕處理和智能溫控系統，解決了傳統油封泵易污染、抗腐蝕差、維護頻繁的痛點。無論是對清潔度要求的半導體前端工藝，還是需要批量處理物料的光伏/鋰電池生產線，這款泵都能提供穩定、高效、低維護成本的真空保障。